氣動量儀是在19世紀20年代末出現的。在西方，1928年，法國人梅納遜（Menneson）在比利時王國申請了氣動量儀。而蘇聯則聲稱在1926年之前已經開始采用氣動測量方法了。早的氣動量儀是低壓水柱式的，它被用于汽車零件的檢測，如氣缸體的孔徑和噴油嘴的測量。以后逐漸在德國、法國得到了普遍的應用。
美國早也使用低壓水柱式氣動量儀，鑒于這種量儀在使用上有種種缺點，于是進行了中、高壓氣動量儀的研究。隨著高性能的中高壓空氣穩壓器的出現，終于從1940年前后開始進行高壓量儀的實用研究和開發，隨后作為生產現場用量儀在美國得到了推廣和普及。從此在美國，除了實驗室之外，低壓水柱量儀基本上不再被應用了。特別是在1941年Sheffidld公司發展作出了很大的貢獻。在多參數測量中，大多采用這種氣動量儀。
隨后，Federal公司研制成差壓式指針型氣動量儀。這種量儀具有發訊號電接點，可以用于自動測量。
在各種比較測量儀器中，氣動量儀的歷史要算短。40年代美國發明了浮標量儀，50年代日本向美國購買了，60年代日本又向中國轉讓了該項技術，“浮標量儀”至今仍然暢銷各國，因為它在下列四個方面表現出良好而又的效果：
·有高精度要求的內徑、外徑；
·大批量生產的零件；
·在質量管理中被特別重視的零件；
·同時對多個尺寸，進行多參數同時的測量。
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